新闻中心

News center

恭喜-芯米公司-喜获新加坡AMF公司“8寸Coater&Developer(涂布显影设备)”订单

首页    公司动态    恭喜-芯米公司-喜获新加坡AMF公司“8寸Coater&Developer(涂布显影设备)”订单

     timg

      金九银十,金秋十月芯米公司收获不断,可谓喜事连连。我司荣获新加坡AMF公司幸赖喜获“ 8寸Coater&Developer(涂布显影设备)”订单。

      新加坡Advanced Micro Foundry (AMF)公司是新加坡科技研究局微电子研究院的孵化公司,成立于2017年。作为硅光子领域的先驱研究机构之一,AMF十多年来一直致力于硅光子技术以及产品的研发。AMF在核心研究发展方面始终保持均衡的努力,通过与国际顶尖高校以及各大跨国公司的学术合作和战略性研发,建立并完善了硅光子技术在各个应用领域的专利组合。 基于标准的200mm CMOS工艺,AMF开发出了多功能的硅光子平台。迄今为止,AMF已开发出各类关键硅光子器件和集成线路,包括用于光通信的无源器件(如滤波器,阵列波导光栅等),以及高速有源器件(如高速调制器,光电探测器等),极大的促进了高性能硅光子光学模块的发展,可以满足不同市场领域合作伙伴的不同需求以及不同应用。

      我司的8寸 Coater光刻胶涂布机:

图片1


 ◆ XM-D200是一款 6~8吋 全自动 Coater&Developer(涂布显影设备)特点
 ◆ 模块化设计, 可依客户客制化工艺生产需求为导向,从设计开发、机台组装、测试、机台安装到售后服务。
 ◆ Through-Put 产能每小时60片
 ◆ Uptime >=95%
 ◆ 精准药液温度控制工艺流程
 ◆ Cassette -> PEB -> COL -> Developing -> HP -> Cassette
 ◆ 采用高精度旋转马达 ( Spin Motor )
 ◆ 根据不同的产品工艺可选不同的显影喷头
 ◆ 制程空间采用FFU, 使其洁净度达到10级要求
应用领域
 ◆ 2吋、4吋、 6吋和8吋,应用于半导体前段黄光制程、 后段封装制程、MEMS、 LED 和 OLED。

2019年9月25日 11:22
浏览量:0
收藏