全自动涂胶显影机 XMTA-800A
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基片尺寸ψ50mm～ψ200mm
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Cassette 晶舟2-4个晶舟
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Coater Unit 涂胶单元1、PR类型：正胶/ 负胶 ；2、光刻胶喷头 2 ~ 4 个； 3、EBR ( Edge Bead Remover )； 4、马达旋转速度 Max. 6,000rpm； 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
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Robot Arm 机械手臂3轴; X1, X2, X3
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Hot Plate热盘单元溫度50℃-180℃
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Cooling Plate冷盘单元溫度18-28℃
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机台尺寸D(1200+2410)× W1700 × H2300 (mm)
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显影机基片尺寸ψ50mm～ψ300mm
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Developer 显影单元1、可应用喷头 Spray, Stream, E2 , H ； 2、马达旋转速度 Max. 5,000rpm
