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显影单元
3-Pin升降（气缸升降/电机缓降）
显影喷嘴形状可定制
腔体排风单独可调 单元可处理PR或PI显影
显影液保温精度圮.2 °C （可选）
可实现动态及静态显影
Arm定位精度：±0.1mm
Chuck 端跳：＜0.02mm
Chuck 表面温度:23°C±o"
产品参数
