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涂胶单元
最大可支持3路光阻，可独立涂覆PR或PI
胶嘴自动切换，胶路保温功能（可选）
CUP自动清洗，胶嘴保湿功能（可选）
PR类型：正胶/ 负胶； EBR ( Edge Bead Remover ) 精准控制到0.1mm；
光刻胶恒温控制到喷嘴；
高精度定量泵浦吐出量误差≦0.05cc ( 100cp以下),
下进上出式管状隔膜泵不易藏气泡
产品参数
