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為掌控機台的核心技術之一, 自行研發硅片搬運手臂 (機械手臂)
1. 三支硅片交換手臂 避免硅片之間的熱幅射干擾

产品参数

半导体装备与工艺整体解决生产商
SEMICONDUCTOR EQUIPMENT

芯米(厦门)半导体设备有限公司 
Ximi (Xiamen) Semiconductor Equipment Co., Ltd.

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